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00001版:一版要闻

罗明浩:

殚精竭虑为 中国制造增添荣光

罗明浩(左)在生产一线。

  奋斗心语:技术工人队伍是支撑中国制造、中国创造的重要力量,我们要打破垄断,填补空白,为中国制造增添荣光。

  

  记者张浩呈报道 “芯片靶材是制造集成电路的关键原材料,也是技术要求最高的靶材。从技术要求来看,半导体靶材要求超高纯度金属、高精密尺寸、高集成度等,往往选取高纯铜、高纯铝、高纯钛、高纯钽等。”接受记者采访时,说起自己所从事的技术工作,罗明浩滔滔不绝,沉浸其中。

  罗明浩是宁波江丰电子材料股份有限公司首席技师,从事半导体材料设备及工艺研究近20年,他从行业“门外汉”成长为技艺精湛的高技能人才,打破半导体超高纯金属靶材制造国外技术垄断,被评为浙江杰出工匠、“浙江省百千万”高技能拔尖人才,并在今年获得全国五一劳动奖章。

  面对记者的疑惑不解,罗明浩只好用外行都能听懂的话来总结,“半导体溅射靶材技术的高低决定着芯片性能的高低,换句话说,半导体靶材对于芯片制造的重要性,丝毫不逊于光刻胶。”

  别看现在罗明浩对超高纯金属靶材生产工艺如此熟悉,事实上,一开始罗明浩对“超高纯金属溅射靶材”这一领域也是一窍不通。

  2005年,罗明浩加入创立不久的“江丰电子”,初入公司,年轻的罗明浩就受邀参与设计中国第一条超大规模集成电路用靶材生产线,并由他来主导生产线大型关键设备的设计、安装和调试。彼时的罗明浩第一次接触到“超高纯金属溅射靶材”这一概念。

  不懂怎么办?为了完成设备设计、安装,罗明浩专门成立设备科,带领团队全身心投入到了生产线的建设中,从零开始,一点点打磨、改造,把企业、专家的理论、梦想、概念落到实践中,啃下了一个又一个“硬骨头”。

  “当时觉得肩上担子沉甸甸的,但我就不信外国人能造出来的东西,我们中国人不行。”凭着这股拼劲,罗明浩发挥专业特长,结合半导体靶材设备实际所需设计改造了大批国产装备,为中国第一代半导体用高纯铝靶、钛靶、铜靶、钽靶、钼靶、LCD靶等的制作做出了重要贡献。

  产线设备问题解决了,新的问题又接踵而来。“江丰电子”成立初期,由于国外技术垄断,原材料都是进口,如此一来,材料成本大大增加,对公司产品正常出货带来严重隐患,“这个问题一定要解决,不然会一直受制于人”。

  罗明浩看在眼里,急在心里,如何将铸造自主化,成了他心中最记挂的事。“其实早在成立之初,公司就有了原材料自主化打算。但由于受到场地和技术的限制,这一计划迟迟未能实现。”2011年,公司的2号厂房建成,在一层单独开辟了一个精炼铸造室。有了场地,罗明浩就开始全身心地投入到设备的研制中。

  “当时,国内这一领域还未有人踏足,没有前人经验可供参考,一切得靠自己动脑筋。”罗明浩说,我也只能从零开始一点点学习、一点点摸索。

  在罗明浩和同事们无数个通宵达旦的努力下,2015年,国内第一家高纯铝精炼铸造系统实现了运转,打破了国外对于该项技术的垄断,并首次实现该产品的国产化,填补了国内在这一领域的空白。“每一次在陌生领域的探索,都让我明白自己的价值不只是为公司研发设备,我在做的事是填补国内空白、打破国外垄断,为中国制造增添荣光。”罗明浩说。

  如今,凭借卓越性能,“江丰电子”生产的超高纯金属靶材,不仅赢得了国际主流半导体领域客户的认可,还成功进入国际主流半导体制造企业,销售网络覆盖欧洲、北美及亚洲各地。

  回顾自身成长历程,罗明浩说,技艺不是一朝一夕间就能练就,必须全神贯注,耐得住寂寞、守得住心智,同时坚持日复一日地锻打、持续不断地钻研,才能有所成就。


浙江工人日报 一版要闻 00001 殚精竭虑为 中国制造增添荣光 2022-05-16 2 2022年05月16日 星期一